Tektronix MSMU60-2

MP5000 系列双通道 SMU 源表模块，必须搭配 MP5103（1U 3 槽主机）使用，全新在产，泰克（原吉时利技术线）高密度模块化源表download.t...

✅ 核心规格（单通道）

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• 通道：每块模块 2 路独立 SMU；一台 MP5103 最多插 3 块 → 合计 6 通道
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• 电压范围：±60 V
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• 电流范围：±1.5 A DC
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• 功率包络：每通道 30 W（四象限，源 / 灌双向）
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• 分辨率：100 fA（电流） / 500 nV（电压），6½ 位
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• 采集：内置 1 MSa/s 同步 ADC，电压电流同时高速数字化
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• Remote Sense：Force–Sense 之间允许最高 6 V 压差，布线容错更好
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• 不对称合规限制：正、负方向可以独立设置限流 / 限压
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• 接触检测、自动感测电阻、容性负载增强保护
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• TSP 脚本引擎，和吉时利 2600 系列同源脚本体系，支持 Lua 脚本，微秒级多机同步；最多 32 台 MP5103 联动做多站点并行测试

✅ 典型应用

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• 光电器件：VCSEL、PD、硅光芯片 IV、LIV 曲线
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• 半导体：小信号 MOS、二极管、三极管、模拟芯片参数表征
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• 传感器、MEMS、阻性器件、ESD/TVS 器件测试
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• 产线多站点并行 ATE、晶圆探针台自动化测试
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