1. 成色要求：泵体无漏油，启停平稳，真空抽取速率达标，轴承无异响。
2. 基础配置：涡轮分子泵主体、驱动电源、密封法兰、减震套件。
3. 仪器介绍：SEM专用真空分子泵，通用标准备件，持续供货未停产。
